| 加工定制 | 是 |
|---|---|
| 類型 | 恒溫、恒壓、恒流冷水機 |
| 標準制冷量 | 93（kw） |
| 輸入功率 | 22.5（kw） |
| 外形尺寸 | 1820*650*1650MM |
| 重量 | 以實物為準（kg） |
| 應用領域 | LED半導體芯片設備制造、真空鍍鏌設備 |
| 結構類型 | 開放式 |
| 品牌 | 川本 |
| 型號 | CBE |
恒溫恒壓冷凍機在MOCVD半導體芯片設備的應用,MOCVD半導體芯片設備冷卻循環(huán)設備，MOCVD設備水循環(huán)冷卻系統(tǒng)冷水機，MOCVD半導體芯片設備制冷機的選型，MOCVD設備冷卻恒溫恒壓冷凍機，MOCVD設備降溫冷水機
冷水機又稱為冷凍機、制冷機、冰水機、凍水機、冷卻機、水冷機等。
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一、 系統(tǒng)參數(shù)
爭對深圳一生產(chǎn)LED芯片廠家的現(xiàn)狀，現(xiàn)車間有5臺MOCVD機、高溫烘烤爐、單這退火爐、XRD分析測試機各1臺，根據(jù)客戶需要進行恒溫恒壓供水設計。
初步設計5臺MOCVD機分別由2臺40HP和1臺20HP制冷系統(tǒng)分別對其進行恒溫恒壓供水，高溫烘烤爐、單這退火爐、XRD分析測試機1臺的供水由1臺15HP制冷系統(tǒng)進行恒溫恒壓供水，依據(jù)參數(shù)設計如下表：
設備 | 數(shù)量 | 冷水流量(m3/h) | 供水壓力 （bar） | 最小壓差 （bar） | 進水溫度 ℃ | 進水管徑 不繡鋼 | 所需配 冷水機 | 備注 |
1#MOCVD | 1 | 10 | 4.83±0.69 （4-6）可調(diào) | 2.76 | 18－20 | DN25 |
40HP
|
水質(zhì)為 純凈水 |
2#MOCVD | 1 | 10 | 4.83±0.69 （4-6）可調(diào) | 2.76 | 18－20 | DN25 | ||
3#MOCVD | 1 | 10 | 4.83±0.69 （4-6）可調(diào) | 2.76 | 18－20 | DN25 |
40HP |
水質(zhì)為 純凈水 |
4#MOCVD | 1 | 10 | 4.83±0.69 （4-6）可調(diào) | 2.76 | 18－20 | DN25 | ||
5#MOCVD | 1 | 10 | 4.83±0.69 （4-6）可調(diào) | 2.76 | 18－20 | DN25 | 20HP | 水質(zhì)為 純凈水 |
高溫烘爐 | 1 | 12 | 2.5 |
| 22－25 | DN50 |
15HP |
水質(zhì)為 純凈水 |
單管退火爐 | 1 | 3 |
|
|
| DN20 | ||
XRD | 1 | 0.36 | 4 | ―― | 15－25 | DN15 |
二、變頻恒壓供水特點:
1、恒壓供水能自動24小時維持恒定壓力，并根據(jù)壓力信號自動啟動備用泵，無級調(diào)整壓力，供水質(zhì)量好，與傳統(tǒng)供水比較，不會造成管網(wǎng)破裂及水龍頭共振現(xiàn)象。
2、動平滑，減少電機水泵的沖擊，延長了電機及水泵的使用壽命，避免了傳統(tǒng)供水中的水錘現(xiàn)象。
3、采用變頻恒壓供水保護功能齊全，運行可靠，具有欠壓、過壓、過流、過熱等保護功能。
4、系統(tǒng)配置可實現(xiàn)全自動定時供水,徹底實現(xiàn)無人值守自動供水.控制系統(tǒng)具有故障報警和顯示功能,并可進行工變頻轉換,應急供水。
5、系統(tǒng)根據(jù)用戶用水量的變化來調(diào)節(jié)水泵轉速，使水泵始終工作在高效區(qū)，當系統(tǒng)零流量時,機組進入休眠狀態(tài),水泵停止，流量增加后才進行工作,節(jié)電效果明顯，比恒速水泵節(jié)電23%-55%。
6、變頻恒壓供水設備不設樓頂水池，既減少建筑物的造價，又克服了水源二次污染，氣壓波動大，水泵啟動頻繁和建造水塔一次性投資大，施工周期長，費用高等缺點。
7、整套設備只需一組控制柜和水泵機組，安裝非常方便，占地面積少。
8、本設備采用全自動控制，操作人員只需轉換電控柜開關，就可以實現(xiàn)用戶所需工況，操作簡單。
三、系統(tǒng)組成
本工程為冷凍水循環(huán)系統(tǒng)，采用2臺40HP水冷開放式冷水機、1臺20HP水冷開放式冷水機、1臺15HP水冷開放式冷水機組，系統(tǒng)分成3組循環(huán)；
1）水塔和制冷主機稱為冷卻水循環(huán)，此循環(huán)為自來水，為制冷主機散熱冷卻；
2）制冷主機與儲水箱之間為內(nèi)部循環(huán)，此循環(huán)為純凈水，制冷主機把儲水箱內(nèi)的水降到18-20℃；
3）儲水箱與MOCVD之間的為外部冷凍水循環(huán)，此循環(huán)為純凈水，高壓水泵把水箱內(nèi)18-20℃水經(jīng)精密過濾器后送到MOCVD設備，從設備出來23-25℃的水回至儲水箱，進入MOCVD設備的入水壓力在4-6bar之間，且壓力可通過控制面板的設定來調(diào)節(jié)所需的值。
冷卻水及其它配件內(nèi)循環(huán)水泵、外循環(huán)水泵、冷卻水塔、冷水儲水箱、變頻器、點壓力變送器、高精密過濾器等組成。
四、恒壓供水工作原理: （以40HP帶2臺MOCVD設備為例，參考圖紙恒壓供水設備示意圖）
1） 外循環(huán)變頻恒壓供水系統(tǒng)采用壓力控制器面板設定點壓力（進入2臺設備前的水壓力值），采用2個壓力傳感器（反饋為4~20mA）檢測水管中壓力，壓力傳感器將信號送入變頻器PID回路，PID回路處理之后，送出一個水量增加或減少信號，控制馬達轉速，來調(diào)節(jié)入水的壓力值。
2） 如進入2臺MOCVD的壓力不同，控制器的PLC會自動計算出進入2臺MOCVD前的點壓力平均值，再反饋為4~20mA給變頻器的PID回路，盡量使進入2臺MOCVD的入水壓力相同，使實際水管壓力與設定壓力相一致。
3）設定值與實際值產(chǎn)偏差可在±0.5bar，進水壓力可恒定在設定值的所允許的范圍內(nèi)（±0.5bar）。
4）當2臺MOCVD的進水壓力過高或過低時，裝在系統(tǒng)管道上的壓差旁通會進自動調(diào)節(jié)水的流向，使進入臺MOCVD實際水管壓力與設定壓力相一致，隨著用水量的減少，變頻器自動減少輸出頻率，達到了節(jié)能的目的。
五、恒溫供水說明（參考圖紙恒壓供水設備示意圖）
恒溫體現(xiàn)在內(nèi)循環(huán)系統(tǒng)上，制冷主機與儲水箱之間為內(nèi)部循環(huán)，此循環(huán)為純凈水，制冷主機把儲水箱內(nèi)的水溫恒定到18-20℃；
△ T---表示溫度偏差，表示壓縮機加載或卸載的溫度差（△T以下設定為
0.5℃）。
T ---表示水箱的實際溫度值
Ts---表示水箱的設定溫度值（Ts以下設定為18.5℃）
能量調(diào)節(jié)；有2個壓縮機：在升溫過程中，當T>Ts時啟動1臺壓縮機，當T >= Ts+△T時啟動2臺壓縮機；在降溫過程中，當T<Ts時，停一臺，當T<Ts－△T時全停。
升溫過程中，△T設定0.5℃，如水箱溫度Ts設定18.5℃，當水箱內(nèi)實際溫度T≥19℃，控制器1#和2#壓縮機輸出，壓縮機延時開啟，機組進行制冷 ，水箱內(nèi)溫度下降；
降溫過程中，水箱溫度Ts設定18.5℃，當水箱內(nèi)實際溫度T＝18.5℃時，2#壓縮機停止輸出，2#壓縮機停止運行，只開啟1個壓縮機，當水箱內(nèi)實際溫度T＝18℃時, 1#壓縮機停止輸出，此時所有壓縮機全部停止運行，機組處于待機恒溫狀況。
如此往復循環(huán)，水箱內(nèi)溫度可穩(wěn)定在18-20℃之間，
機組第一次使用需提前半個小時開機，以便水箱溫度達到設定的溫度
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